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尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用為普遍。
熱電阻大都由純金屬材料制成,目前應(yīng)用多的是鉑和銅,此外,已開始采用鎳、錳和銠等材料制造熱電阻。用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,
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